Промышленные роботы микроэлектроники

Бот — автономно функционирующая машина-автомат, предназна­ченная для проигрывания двигательных функций человека во время про-


изводственных операций без его роли и наделенная для этого способно­стями человека (силой, памятью и т. д.), также способностью к обучению для работы в комплексе с другим оборудованием и приспособлением к про­изводственной среде.

Для выполнения Промышленные роботы микроэлектроники собственных функций ПР имеет:

манипулятор с набором исполнительных устройств (захват, свароч­ная головка, зонд и т. д.), позволяющий в автоматическом цикле делать требуемые функции;

систему управления, обеспечивающую выдачу команд на исполнитель­ные механизмы манипуляторов зависимо от положения рабочих орга­нов и от состояния наружной среды (ориентация детали, ее Промышленные роботы микроэлектроники размер, масса, температура и т. п.).

Систематизация ПР представлена на рис. 1.20. По степени универсаль­ности ПР делятся на особые, спец и универсальные.

Особые ПР созданы для выполнения какой-нибудь одной операции, обслуживания 1-го типа оборудования (автооператор). Мани­пулятор таких ботов прост по конструкции, обладает несколькими степе­нями подвижности, система Промышленные роботы микроэлектроники управления (СУ) имеет узенький спектр перена­ладок и работает по жесткой программке. Особые ПР употребляются для загрузки, перемещения и манипуляций полупроводниковыми пластинами в элионных установках: установках полного легирования, ионноплазменного и плазмохимического травления, нанесения тонких пленок и др. Ввиду ста­бильности формы объекта манипулирования (изменяется только поперечник пла­стины в границах Промышленные роботы микроэлектроники 60—450 мкс) и траекторий движения манипулятора не требуется корректировки системой управления.


Универсальный ПР обладает манипулятором, который имеет более 7 степеней свободы: три линейных, три угловых и одно для удержания объекта манипулирования. Универсальные ПР обслуживают оборудование различного технологического предназначения, делают разные операции с широкой но­менклатурой полуфабрикатов, их просто можно перепрограммировать и Промышленные роботы микроэлектроники пере­ключить на другую работу в границах технических способностей бота.

Спец ПР служат для выполнения операций 1-го вида либо обслуживания оборудования 1-го предназначения. К ним предъявляют ряд особенных требований, которые и обусловливают специализацию ботов (к примеру, требования к массе объектов манипулирования, точности мани­пулирования, к среде, в какой Промышленные роботы микроэлектроники бот работает, и к возмущениям, которые он заносит в эту среду).

По массе и размерам объектов манипулирования различают ПР боль­шой — (более 60 кг), средней (5—60 кг) и малой (наименее 5 кг) грузоподъем­ности. В отдельную группу выделяют ПР для манипулирования миниатюр­ными изделиями с массой наименее килограмма (40%). По просьбе к точ­ности Промышленные роботы микроэлектроники манипулирования различают боты обычной точности с погреш­ностью позиционирования зависимо от грузоподъемности 0,1—5 мм, прецизионные боты с погрешностью 5 мкм и ультрапрецизионные робо­ты с погрешностью до 0,03 мкм.

Боты обычной точности используют для манипулирования транспортными либо технологическими кассетами, перекладки полупровод­никовых пластинок из кассеты в кассету, на хим операциях. Прецизи­онные боты Промышленные роботы микроэлектроники манипулируют пластинами либо кристаллами на операциях посадки кристалла, разводки выводов, герметизации корпусов, также ин­тегральными схемами на операциях контроля и разбраковки. Ультрапреци­зионные боты с погрешностью 0,03—1 мкм манипулируют пластинами на операции литографии.

По требованиям к окружающей среде различают боты, которые могут работать в масляном и безмасляном вакууме, значительно Промышленные роботы микроэлектроники не изменяя его па­раметров, незапятнанные боты, которые не усугубляют атмосферу незапятнанных комнат соответственных классов, и обыденные боты, к которым не предъявляют ни­каких специфичных требований по плотности, газо- и пылевыделениям.

Для работы в незапятнанных комнатах разрабатывается поколение ботов, цель внедрения которых — убрать контакт человека с обрабатываемы­ми изделиями Промышленные роботы микроэлектроники. Конкретно человек является главным источником загрязнений поверхности полупроводниковых структур. Для таких ботов нужен особый привод с наименьшим числом пар наружного трения, мини­мальным выделением товаров износа, паров масел, отсутствием зон, спо­собствующих скоплению пыли, препятствующих общему ламинарному сгустку воздуха в помещении. Так, бот ALPHA одет в одежку Промышленные роботы микроэлектроники из специ­альной ткани, что сделало его применимым для работы в помещениях первой категории. Бот PUMA конторы Vnimation обустроен интегрированным в руку вен-


тилятором, создающим в зоне захвата ламинарный поглощающий поток воз­духа, содействующий дополнительной локальной чистке воздушной сре­ды в зоне манипулирования.

Боты первого поколения работают по жесткой Промышленные роботы микроэлектроники программке. Эти робо­ты не способны принимать внешнюю информацию об ориентации дета­ли, ее размерах, массе, усилиях зажима. Они не способны приспособиться к изменяющейся наружной среде. Такие боты употребляются на обычных опе­рациях (транспортно-перегрузочные, расцветка, гальванопокрытие, сушка). Управление этими роботами осуществляется от механических либо пневма­тических командоаппаратов, специализированных и универсальных кон Промышленные роботы микроэлектроники­троллеров, построенных на микропроцессорной базе. Программирование цикла технологических операций осуществляется перенастройкой командо­аппаратов, перекоммутацией штекерной панели, составлением и записью в ОЗУ метода управления либо обучением.

При обучении бот управляется вручную, система управления смотрит и запоминает порядок движений рабочих органов и таким макаром форми­рует в ОЗУ метод управления.

Боты Промышленные роботы микроэлектроники второго поколения (адаптивные) работают по гибкой про­грамме, их реакция определяется не только лишь состоянием бота, да и состоя­нием наружной среды, зачем они снабжены датчиками наружной информа­ции: искусственными зрением, слухом, осязанием и другими устройствами, позволяющими выделять нужную информацию об ориентации детали, ее размерах и других Промышленные роботы микроэлектроники свойствах. Система управления такими роботами строится на базе микроЭВМ, для перепрограммирования в ней используют­ся особые диалоговые языки, близкие к естественному и не требую­щие от юзера никакой подготовки по программированию. Время от времени программирование осуществляется обучением. Некие операции при производстве интегральных схем (фотолитография, посадка кристаллов, сварка выводов) нереально Промышленные роботы микроэлектроники провести, если при управлении технологиче­скими процессами не учесть состояние наружной по отношению к обо­рудованию инфы о параметрах полуфабрикатов и наружной среды: размерных погрешностях, температуре влажности и т. п. Управление таки­ми операциями должно быть адаптивным и производиться адаптивными ПР.

Боты третьего поколения либо умственные только разрабатыва­ются и Промышленные роботы микроэлектроники не вышли из стенок лабораторий. Особенностью этих ПР является высочайшая приспособляемость к наружным условиям. Они могут выбирать нужные детали из навала, ориентировать их для выполнения следующих операций, оптими­зировать результаты собственной работы, самообучаться. Настолько высочайшая адаптация приведет к завышенной автономности бота. При собственной работе он будет тре Промышленные роботы микроэлектроники­бовать малое число команд от системы управления высшего уровня.

Система искусственного ума обеспечит наименьшую трудоем­кость программирования бота, ему будет сообщаться только цель его работы, что необходимо сделать и какие обеспечить характеристики. Как это сделать, т. е. како-


вы должны быть последовательность и характеристики каждой из операций, бот решит сам Промышленные роботы микроэлектроники.

При всем этом он повсевременно будет самообучаться, т. е. улучшать метод собственного управления так, чтоб активизировать итог работы. Умственные ПР — универсальны, их работа в составе ГАП (РТК) автоматом обеспечит упругость технологических систем, потому что бот сам сумеет подбирать рациональные технологические процессы. В этом ро­боту будет помогать централизованная система управления Промышленные роботы микроэлектроники комплексом.

Основная тенденция развития роботостроения — рвение к универ­сальности, автономности и адаптации к наружной среде.


proniknovenie-islama-i-ego-vliyanie-na-duhovnuyu-kulturu-ix-xivv.html
pronina-e-e-p89-psihologiya-zhurnalistskogo-tvorchestva-2-e-izdanie-stranica-17.html
pronsk-referat.html